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等離子廢氣處理設（shè）備
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低溫等離子設備電（diàn）子首（shǒu）先從電場獲得（dé）能量，通過激發或電（diàn）離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分（fèn）子或原子被激（jī）發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之（zhī）後這些活性基團與分子（zǐ）或原子（zǐ）、活性基團與活性（xìng）基團之間相互碰撞後生成穩定產物和熱。另外，高能（néng）電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力（lì）較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
低溫等離子體去除汙染物的機理 （1）電場+電子 → 高能電子
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